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J-GLOBAL ID：201702220828340099   整理番号：17A1395434

パルスマグネトロンスパッタリング電源の新しい制御法に関する研究【Powered by NICT】

Research on a new control method of pulse magnetron sputtering power supply

著者 (2件)： Zhang Xiumei (College of Electrical and Electronic Engineering, Changchun University of Technology, Changchun 130012) ,  Li Hongze (College of Electrical and Electronic Engineering, Changchun University of Technology, Changchun 130012)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CCC  ページ： 10220-10223  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 可変速積分PI制御と改良された繰返し制御から成る複合制御戦略に基づいて,新しいパルススパッタリング電力を本論文で設計した。ARMシステムにおけるPWM駆動信号を制御するコントローラとして使用されている。第二に,パルス発生回路を紹介し,その動作原理を解析した。同時に,複合制御法を詳細に設計した。最後に,シミュレーションにより,電源は良好な制御性能,簡単で信頼性のある制御とエネルギーフィードバックの特性を持っていることを証明した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電力 ,  制御装置 ,  *制御方式 ,  信頼性 ,  パルス発生器 ,  積分
準シソーラス用語： 制御性能 ,  動作原理 ,  複合制御 ,  繰返し制御 ,  PI制御 ,  可変速 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： システム設計・解析  (IA02030D) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  電力変換器  (NB08030B)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  制御法 ,  研究