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J-GLOBAL ID：201702221012388162   整理番号：17A1276661

近接センシング応用のためのシリコンベクトル光センサ【Powered by NICT】

A silicon vector light sensor for proximity sensing applications

著者 (4件)： El-chami Ibrahim (Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, Canada) ,  Zhuo Dong Hao (Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, Canada) ,  Vosoogh-Grayli Siamack (Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, Canada) ,  Bahreyni Behraad (Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, Canada)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 163-166  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,角度近接検出応用のためのベクトル光センサの3次元設計を導入した。センサ構造は,シリコン中のエッチしたミクロサイズ(ミクロンスケール)メサピラミッドの側壁に光センサを構築することに基づいている。メサピラミッドの各ファセットについて,p-n接合が形成され,フォトダイオードとして使用されている。平面ピクセルとは異なり,この3D画素設計は,センサに入射する光の方向の推定を可能にした。作動原理,詳細な作製方法とデバイスの性能の実験的検証を提示した。センサのユニークな設計,簡単な製造プロセス,および読み出し集積回路の適合性は,現行の平面設計に利点を付加し,実時間動的仮想現実感と拡張の可視化のための多焦点レベルイメージングまたは環境マッピングのような角近接応用に利用できるであろう。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *センサ ,  適応性 ,  フォトダイオード ,  *光センサ ,  生産工程 ,  *ケイ素 ,  バーチャルリアリティ ,  画素 ,  *ベクトル ,  集積回路 ,  ファセット ,  三次元 ,  PN接合 ,  可視化
準シソーラス用語： 動作原理 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光導電素子  (NC03083X)

タイトルに関連する用語 (5件)： センシング ,  応用 ,  シリコン ,  ベクトル ,  光センサ