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J-GLOBAL ID:201702221095908186   整理番号:17A0077629

静電微梁器件の次数低減モデルとその動的PULL-IN不安定性研究【JST・京大機械翻訳】

Study on Dynamic Pull - in Instability of Electrostatically Actuated Micro-beam Devices
著者 (3件):
資料名:
号:ページ: 89-91,102  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2449A  ISSN: 1002-1841  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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マイクロデバイスの設計は,コンピュータ技術を用いて,その動特性を迅速かつ正確にシミュレーションする必要がある。基底関数として器件中結要素の形状関数を用いて,静電-構造結合結合の自由度縮小モデルをGALERKIN法によって確立して,初期の軸方向荷重と大きな変形幾何学的非線形効果の影響を考慮することができた。SIMULINK?単一モードモデルを確立し,デバイス-INプロセスの動的シミュレーションを行い,減衰と非減衰の下での静電装置の動的PULL-INの分岐現象を解析した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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破壊力学一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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