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J-GLOBAL ID：201702221342552243   整理番号：17A1157549

サファイアウエハのロータリ研削における砥石揺動効果に関する研究

著者 (5件)： 籔野真大 (防衛大) ,  楠山純平 (防衛大) ,  北嶋孝之 (防衛大) ,  由井明紀 (防衛大) ,  伊東利洋 (岡本工作機械製作所)
資料名： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (ABTEC (CD-ROM))
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.A03  発行年： 2017年 
JST資料番号： L0894B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *サファイア ,  ウエハ【IC】 ,  *研削 ,  アクチュエータ ,  振動切削 ,  研削砥石 ,  *発振現象 ,  磁気アクチュエータ ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： *揺動現象

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (7件)： サファイア ,  ウエハ ,  ロータリ ,  研削 ,  砥石 ,  揺動 ,  研究