文献

J-GLOBAL ID：201702221387875721   整理番号：17A1028806

単結晶シリコンヒータとヒートシンクを用いたPirani真空計の検討と最適化【Powered by NICT】

Investigation and Optimization of Pirani Vacuum Gauges With Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks

著者 (5件)： Zhang Le-Min (Smart Sensing Research and Development Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Jiao Bin-Bin (Smart Sensing Research and Development Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Yun Shi-Chang (Smart Sensing Research and Development Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Kong Yan-Mei (Smart Sensing Research and Development Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Chen Da-Peng (Smart Sensing Research and Development Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26  号： 3  ページ： 601-608  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,加熱器とヒートシンクのための低抵抗率Si単結晶を用いたマイクロピラニ真空計を提示した。分解能と感度の向上を可能にする厚いシリコン抵抗器により作られた埋め込まれたWheatstoneブリッジをもつ新しいPirani真空計を設計した。最適Wheatstoneブリッジ構造を用いて,ゲージ圧力測定の温度係数は2.5%/°Cから0.74%/°Cに減少し,分解能は1Torrで0.071から0.008Torrに最適化した。さらに,ゲージはウエハレベルAlGe共晶接合による非密封空洞にパッケージウエハダイシングプロセスを受け,1Torrで1.65~17.1V/Torr改良された感度とした。[2016 0320]Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共晶 ,  分解能 ,  *加熱器 ,  *最適化 ,  ケイ素 ,  温度係数 ,  電気抵抗率 ,  抵抗器 ,  *ヒートシンク ,  ゲージ ,  *単結晶
準シソーラス用語： Wheatstoneブリッジ ,  *Pirani真空計 ,  *単結晶シリコン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 単結晶シリコン ,  ヒータ ,  ヒートシンク ,  Pirani真空計 ,  最適化