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J-GLOBAL ID:201702221393364413   整理番号:17A0892058

次元計算機トモグラフィー計測工学における画像エントロピに基づく走査パラメータの評価

Evaluation of Scanning Parameters Based on Image Entropy for Dimensional Computed Tomography Metrology
著者 (2件):
資料名:
巻: 139  号:ページ: 071001.1-071001.24  発行年: 2017年07月 
JST資料番号: C0657A  ISSN: 1087-1357  CODEN: JMSEFK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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X線計算機トモグラフィー(CT)のボリュームデータには,多くのアーチファクトが現れ,測定精度が落ちる。本報では,精度向上のために,エントロピーを評価基準として用いた。また,シミュレーションを用いて評価した。本法は,試料の方向の評価に注目している。実際的な試料として段付き円筒を用いて本法の評価を行った。結果の評価は,寸法パラメータと標準偏差と本法によるエントロピーとの比較で行った。その結果,本法はCT計測品質の予測に使用でき,CT計測工学が高い計測精度を達成する支援ができることが分かった。また,本法は,試料全体について評価できないような場合においても,局部的な幾何学的な形状について適用できる方法である。
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分類 (2件):
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光学情報処理  ,  非破壊試験 

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