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J-GLOBAL ID：201702221438544375   整理番号：17A1295408

常圧プラズマジェットによるZnOの堆積とそのセンシング特性の研究【JST・京大機械翻訳】

The Application of ZnO Thin Film Humidity Sensor Fabricated by Atmospheric Pressure Plasma Jet

著者 (3件)： Han Qi (華東師范大学信息科学技術学院,上海,200241) ,  Huang Chun (華東師范大学信息科学技術学院,上海,200241) ,  Zhang Jian (華東師范大学信息科学技術学院,上海,200241)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 30  号： 3  ページ： 368-372  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 環境に優しく,効率的で,低コストのセンサ製作法を提案した。プラズマジェットジェットを用いてZnO半導体材料を蒸着し、その中にプラズマジェット噴射ガンの気体源はN2、電源は20kHzの出力周波数の高周波電源を採用した。前駆体としてZn(NO3)2の水溶液を用いて,エアロゾルを形成し,プラズマによりプラズマ中に蒸着させ,ZnO薄膜を堆積させ,XRD,SEM,UV-Visによりキャラクタリゼーションを行った。この方法によって調製されたZnO湿度センサの特性を,5分のZnO蒸着時間において,それぞれ,0.435pF/%RHと19.634pF/%RHによって特徴付けることができた。同時に、このサンプルのヒステリシス、応答時間と回復時間も最も優れている。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 水溶液 ,  キャラクタリゼーション ,  周波数 ,  *プラズマジェット ,  応答時間 ,  エアロゾル ,  湿度センサ ,  *プラズマ ,  半導体材料 ,  蒸着 ,  前駆体 ,  *酸化亜鉛 ,  噴射 ,  ヒステリシス
準シソーラス用語： 回復時間 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： humidity sensor ,  atmospheric pressure plasma ,  capacitive ,  aerosol ,  ZnO

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物のルミネセンス  (BM08093J)

タイトルに関連する用語 (6件)： 常圧 ,  プラズマジェット ,  ZnO ,  堆積 ,  センシング ,  研究