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J-GLOBAL ID：201702222332345959   整理番号：17A1383230

アーク蒸着したAl Cr N/Al Cr O多層膜における界面およびそれらの硬度への影響【Powered by NICT】

Interfaces in arc evaporated Al-Cr-N/Al-Cr-O multilayers and their impact on hardness

著者 (7件)： Raab R. (Christian Doppler Laboratory for Application Oriented Coating Development at the Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, Getreidemarkt 9, 1060 Vienna, Austria) ,  Koller C.M. (Christian Doppler Laboratory for Application Oriented Coating Development at the Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, Getreidemarkt 9, 1060 Vienna, Austria) ,  Koller C.M. (Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, Getreidemarkt 9, 1060 Vienna, Austria) ,  Kolozsvari S. (Plansee Composite Materials GmbH, Siebenbuergerstrasse 23, 86983 Lechbruck am See, Germany) ,  Ramm J. (Oerlikon Balzers, Oerlikon Surface Solutions AG, Iramali 18, 9496 Balzers, Liechtenstein) ,  Mayrhofer P.H. (Christian Doppler Laboratory for Application Oriented Coating Development at the Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, Getreidemarkt 9, 1060 Vienna, Austria) ,  Mayrhofer P.H. (Institute of Materials Science and Technology, TU Wien, Getreidemarkt 9, 1060 Vienna, Austria)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 324  ページ： 236-242  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1225または50層と交互Al_xCr_1xNと(Al_xCr_1x)2O_3層の多層膜からなるアーク蒸着した 1.2 2μm薄膜の機械的性質と各,ぼやけた,又はハイブリッドとに及ぼす界面の影響を詳細なX線回折,TEM,およびナノ圧子押込み測定により調べた界面である。全ての多層膜は単相立方晶系を構築したが,個々の窒化物と酸化物層は12層で構成された皮膜の場合は,XRDによって検出され,少なくとも170nmの二層周期λをもつことができる。特にこれらの多層(最大二層周期)は界面タイプ,明確な,ハイブリッド,あるいはぼけ界面から成る場合には19~16から14GPaに減少するに及ぼすそれらの硬さの顕著な依存性を示した。25または50層から成る多層膜は,窒化物および酸化物層の重なりXRDピークを示し,立方晶Al_xCr_1xNと(Al_xCr_1x)2O_3 4.08と4.00Åのかなり近い格子パラメータによる。,わずか12二分子層から構成されているものよりも有意に高い界面画分と,40nm以下の二層周期を有するこれらの多層膜を調べ界面の型に及ぼすそれらの硬度(22.5GPa)の依存性を示さなかった。これらの研究は,酸化物/窒化物多層膜の機械的性質,界面画分は,調べた条件の厚さ内でより重要であることを示唆した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *多層膜 ,  *多層 ,  X線回折 ,  格子定数 ,  *界面 ,  *アーク放電 ,  皮膜 ,  二分子層 ,  *硬度 ,  機械的性質 ,  酸化物 ,  窒化物
準シソーラス用語： 二層 ,  酸化物層 ,  *アークイオンプレーティング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： Al_xCr_1xN ,  (Al_xCr_1x)は_2O_3 ,  多層 ,  二層周期 ,  界面画分 ,  界面幾何学 ,  陰極アーク蒸発

分類 (3件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (6件)： アーク蒸着 ,  Al ,  Cr ,  多層膜 ,  界面 ,  硬度