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J-GLOBAL ID：201702222472365191   整理番号：17A0565604

真空封止・試料固定用の接着技術

著者 (5件)： 島田敏宏 (北海道大学大学院工学研究院) ,  柳瀬隆 (北海道大学大学院工学研究院) ,  田村貴大 (北海道大学大学院工学研究院) ,  高見拓哉 (北海道大学大学院工学研究院) ,  伊高健治 (弘前大学北日本新エネルギー研究所)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 38  号： 2  ページ： 89-90(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 溶接を使わない高真空容器とフィードスルーを開発した。エポキシ樹脂型,シリコーン系の接着剤を用い,部品同士の真空タイトな接合を行った。試料固定用のための接着法として,立方晶窒化ホウ素を固定するための接着剤を探索した。セメント系の接着剤(アロンセラミック等)では熱膨張係数の違いのためか,加熱冷却を行うとはがれてしまうが,酸化ホウ素は広い温度範囲で試料を安定に固定できることが分かった。

シソーラス用語： 密封 ,  真空 ,  *真空シール ,  *接着 ,  *接着剤 ,  シリコーン樹脂 ,  セラミック ,  窒化ホウ素 ,  材料 ,  酸化ホウ素 ,  *試料 ,  *固定 ,  高真空 ,  *真空容器 ,  電子部品
準シソーラス用語： 封止 ,  エポキシ樹脂系接着剤 ,  立方晶窒化ホウ素 ,  セメント系材料 ,  フィードスルー

著者キーワード (8件)： adhesives ,  surface science experiments ,  vacuum seal ,  sample fixation ,  adhesives ,  surface science experiments ,  vacuum seal ,  sample fixation

分類 (2件)： 接着  (WC07020V) ,  各種接着剤  (YK03000X)

引用文献 (14件)：

• 1) Current version: http://www.eng.hokudai.ac.jp/labo/kotai/tech.html (最終アクセス 2017年1月16日)
• 2) A. Kawahito, T. Endo, T. Yanase, T. Nagahama and T. Shimada: J. Appl. Phys. 117, 17D506 (2015).
• 3) B.C. Stipe, M.A. Rezaei and W. Ho: Rev. Sci. Instrum. 70, 137 (1999).
• 4) 小林俊一,大塚洋一: “低温技術 (物理工学実験)” (東京大学出版会,1987).
• 5) 山崎 猛: 応用物理 38, 950 (1969).

タイトルに関連する用語 (3件)： 真空 ,  封止 ,  試料