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J-GLOBAL ID：201702222549728466   整理番号：17A0825532

マイクロ波マイクロプラズマ特性に及ぼすスプリットリング共振器幅の影響【Powered by NICT】

Effect of the Split-Ring Resonator Width on the Microwave Microplasma Properties

著者 (2件)： Dextre Roberto A. (University of Alabama in Huntsville, Huntsville, AL, USA) ,  Xu Kunning G. (University of Alabama in Huntsville, Huntsville, AL, USA)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 45  号： 2  ページ： 215-222  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,マイクロストリップスプリットリング共振器マイクロ波誘導プラズマ源を開発し,マイクロプラズマ特性に及ぼす共振器ストリップ幅の影響を調べた。本論文の最終目標は,共振器を実装宇宙推進システムにすることである。はスラスタ性能を最適化するためのマイクロプラズマの挙動を理解する必要がある。幅1.5~6mmの範囲で共振器のアルゴン中のマイクロプラズマを生成するために設計した。電場のシミュレーションは,ピークギャップ電場を決定した。単一Langmuir探針測定は1Torrの圧力で得られたプラズマ密度と電子温度を得た。マイクロ波電力は4.7~11.34W(37-41 dBm)変化させた。シミュレーションはマイクロストリップ幅の増加に伴って,最大電界強度は3mm幅の共振器で得られることを示した。電子温度は11.34Wの電力と~5.6eVで3mm幅の共振器にも最も高かった。しかし,最大プラズマ密度は1.5mmの共振器 1.6×10~17/m~3で得られた。共振器電場と得られたマイクロプラズマ特性の間の間接的関係があった。共振器に基づく小型イオンエンジンの理論的解析は,既存の小型イオンエンジンと類似の性能を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アルゴン ,  マイクロストリップ線路 ,  電子温度 ,  *マイクロ波 ,  イオンエンジン ,  電場 ,  Langmuir探針 ,  *共振器 ,  電界強度 ,  最適化 ,  プラズマ密度 ,  帯板 ,  電力
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ ,  *マイクロプラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロ波 ,  プラズマ特性 ,  スプリットリング共振器