文献

J-GLOBAL ID：201702222634088826   整理番号：17A0397282

非対称配置温度センサを用いたマイクロ熱流センサの性能改善

Improvements in the Performance of a Microthermal Flow Sensor using Asymmetrically Located Temperature Sensors

著者 (5件)： LEE Janghyeon (Kookmin Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Tak Gen (Kookmin Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Dongho (Kookmin Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Joohyun (Kookmin Univ., Seoul, KOR) ,  LIM Si-Hyung (Kookmin Univ., Seoul, KOR)
資料名： International Journal of Precision Engineering and Manufacturing  (International Journal of Precision Engineering and Manufacturing)
巻： 18  号： 2  ページ： 227-231  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： A1070A  ISSN： 2234-7593  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 韓国 (KOR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ製造技術を用いてマイクロ熱流センサを開発した。この製造技術を用いて,ヒータと3対の抵抗温度検出器で構成されるマイクロ熱流センサを設計製造した。そして,ヒータと抵抗温度検出器間のいろいろなギャップ距離について試験した。また,2つの非対称配置温度センサの使用が,マイクロ熱流センサの性能をどう改善するかも調べた。

シソーラス用語： *温度センサ ,  熱流 ,  抵抗温度計 ,  *微細加工 ,  加熱器 ,  *センサ
準シソーラス用語： *流れセンサ

分類 (2件)： 温度測定,温度計  (AD06010K) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 非対称 ,  温度センサ ,  熱流 ,  性能改善