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J-GLOBAL ID：201702222751104836   整理番号：17A1993109

外気中でパルスレーザ堆積により作製したZnOナノ構造

ZnO nanostructures produced by pulsed laser deposition in open air

著者 (7件)： NIKOV Ru. G. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sci., Sofia, BGR) ,  DIKOVSKA A. Og. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sci., Sofia, BGR) ,  NEDYALKOV N. N. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sci., Sofia, BGR) ,  ATANASOV P. A. (Inst. of Electronics, Bulgarian Acad. of Sci., Sofia, BGR) ,  ATANASOVA G. (Inst. of General and Inorganic Chemistry, Bulgarian Acad. of Sci., Sofia, BGR) ,  HIRSCH D. (Leibniz Inst. of Surface Modification (IOM), Leipzig, DEU) ,  RAUSCHENBACH B. (Leibniz Inst. of Surface Modification (IOM), Leipzig, DEU)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 123  号： 10  ページ： 657,1-7  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnOターゲットのナノ秒レーザアブレーションを大気圧空気中(外気中)で行うことにより,多彩な三次元ZnOナノ構造を安価に合成することができた。プラズマプルーム内に形成されたナノ粒子およびナノ粒子凝集物が直接堆積するため,多孔性の高い構造が形成する傾向にあった。特に,堆積試料の形態,組成および光学特性に及ぼすNd:YAGレーザ波長の影響を調べた。355nmアブレーションでは,主にナノ粒子凝集体および分離したナノ粒子から成る構造が堆積し,532nmでは,凝集したナノ粒子から成る多孔性の高い構造が形成した。1064nm波長では,大型のナノ粒子凝集体から成る複雑な三次元構造が成長した。波長に依存する多彩な形態およびタイプの表面欠陥がXPSで検出され,それらを反映した光ルミネセンスが観察された。また,アブレーション波長とは無関係に,すべての試料で少量の窒素の存在が検出された。ZnO試料において見出された多孔質構造とその光学特性は,このようなナノ構造がセンサ素子の効率的作製に使えることを示唆している。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *ナノ構造 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  *大気中 ,  ナノ粒子 ,  凝集体 ,  モルフォロジー ,  *多孔質体 ,  *光ルミネセンス ,  表面欠陥 ,  固体素子 ,  波長依存性 ,  *X線光電子スペクトル ,  レーザアブレーション ,  *半導体薄膜 ,  発光スペクトル
準シソーラス用語： ZnOナノ粒子 ,  センサ素子

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 外気中 ,  パルスレーザ堆積 ,  作製 ,  ZnO ,  ナノ構造