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J-GLOBAL ID：201702222835584276   整理番号：17A0922717

マイクロ・ナノ操作用の新規大ストローク2DOFマイクロマニピュレータの開発

Development of a novel large stroke 2-DOF micromanipulator for micro/nano manipulation

著者 (3件)： XIAO Xiao (Univ. Macau, Macao, CHN) ,  LI Yangmin (Univ. Macau, Macao, CHN) ,  XIAO Shunli (Univ. Macau, Macao, CHN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 7  ページ： 2993-3003  発行年： 2017年07月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,XY軸を完全にデカップリングした特性の電磁作動XYマイクロマニピュレータを提案した。デカップリングした大ストローク2DOF(自由度)のマイクロマニピュレータの設計,解析,制御について述べた。マニピュレータの剛性モデルと運動モデルは,ANSYSとMATLABソフトウェアを使用して導出し,検証した。シミュレーション結果は,マイクロマニピュレータが良好なデカップリングおよび等方性を有することを示した。X軸とY軸の動きを,デカップリング特性に基づいて2つの高精度PID反復コントローラで別々に制御するように設計した。最後に,プロトタイプを製作し,開ループテストと閉ループテストの両方を実行した。実験結果は,提案したマニピュレータがマイクロ/ナノポジショニングおよびマニピュレーションアプリケーションで広く使用できることを示した。

シソーラス用語： *マニピュレータ ,  アクチュエータ ,  デカップリング ,  *自由度 ,  モデル ,  等方性 ,  *位置決め
準シソーラス用語： *ナノポジショニング ,  *マイクロマニピュレータ ,  運動モデル ,  剛性体モデル ,  電磁アクチュエータ

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ操作 ,  ストローク ,  2DOF ,  マイクロマニピュレータ ,  開発