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J-GLOBAL ID：201702222957910941   整理番号：17A0402927

シリコン上のn alkyltrimethoxysilaneの自己集合単分子層の作製とトライボロジー特性:SAMアルキル鎖長の影響【Powered by NICT】

Fabrication and tribological properties of self-assembled monolayer of n-alkyltrimethoxysilane on silicon: Effect of SAM alkyl chain length

著者 (6件)： Huo Lixia (National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Technology and Physics, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou, Gansu 730010, China) ,  Huo Lixia (Institute of Polymer Science and Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Lanzhou University, Gansu 730000, China) ,  Du Pengcheng (Institute of Polymer Science and Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Lanzhou University, Gansu 730000, China) ,  Zhou Hui (National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Technology and Physics, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou, Gansu 730010, China) ,  Zhang Kaifeng (National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Technology and Physics, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou, Gansu 730010, China) ,  Liu Peng (Institute of Polymer Science and Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Lanzhou University, Gansu 730000, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 396  ページ： 865-869  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体表面上の自己組織化有機分子は摩擦低減性能を示すことが知られている。しかし,自己集合有機分子の分子サイズの効果は確立されていない。本研究では,異なるアルキル鎖長(C_6,C_12,またはC_18)nアルキルトリメトキシシランの自己集合単分子層(SAM)をシリコン基板上に作製した。SAMの水接触角は自己集合後ヒドロキシル化シリコン基板の26.8°から60°付近であった。原子間力顕微鏡(A FM)分析結果は,SAMの平均粗さ(R_a)はアルキル鎖長の増加に伴って減少することを示した。Al_2O_3ボールに対するSAM滑りのトライボロジー特性を,UMT-2トライボメータ上で評価し,試料の摩耗表面を,ナノ引かき試験機および表面形状測定により解析した。摩耗の最も低い摩擦係数と最小幅はC_12アルキル鎖(C_12SAM)のSAMで達成されたことが分かった。裸のシリコン基板と比較してSAMの優れた摩擦低減と耐摩耗性は,基板への自己集合膜の良好な密着性,特に望ましいアルキル鎖長を持つC_12SAMに起因していた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *アルキル基 ,  密着性 ,  *自己集合 ,  摩耗 ,  自己組織化 ,  摩擦係数 ,  原子間力顕微鏡 ,  引かき試験 ,  耐摩耗性 ,  ヒドロキシ化
準シソーラス用語： ヒドロキシル化 ,  水接触角 ,  シリコンウエハ ,  摩擦低減 ,  *トライボロジー特性 ,  *自己集合単分子膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 自己組織化単分子層(SAM) ,  n alkyltrimethoxysilane ,  アルキル鎖長 ,  トライボロジー挙動 ,  シリコンウエハ

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  自己集合単分子層 ,  作製 ,  トライボロジー特性 ,  SAM ,  アルキル鎖