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J-GLOBAL ID：201702222961960264   整理番号：17A1670436

ZnO薄膜の特性に及ぼすMg-Al共ドープ層の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effect of Mg-Al Co-doped Layers on Properties of ZnO Thin Films

著者 (6件)： Lao Zixuan (景徳鎮陶瓷大学机械電子工程学院,江西 景徳鎮,333403) ,  Hu Yuehui (景徳鎮陶瓷大学机械電子工程学院,江西 景徳鎮,333403) ,  Chen Yichuan (景徳鎮陶瓷大学机械電子工程学院,江西 景徳鎮,333403) ,  Fan Jianbin (景徳鎮陶瓷大学机械電子工程学院,江西 景徳鎮,333403) ,  Shuai Weiqiang (景徳鎮陶瓷大学机械電子工程学院,江西 景徳鎮,333403) ,  Tong Fan (景徳鎮陶瓷大学机械電子工程学院,江西 景徳鎮,333403)
資料名： Taoci Xuebao  (Taoci Xuebao)
巻： 38  号： 1  ページ： 26-30  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3674A  ISSN： 1000-2278  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法により石英基板上にMg-Al共ドープZnO薄膜を調製し、異なるスピンコーティング層数がZnO薄膜の微細構造、表面形態及び光学特性に及ぼす影響を研究した。サンプルを,X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),紫外可視分光光度計(UV-VIS),およびPL光ルミネセンス分光法によって特性評価した,そして,それらの構造を,UV-Vis分光光度計によって特性評価した。実験結果は以下を示す。Mg-Al共ドープZnO薄膜は六方晶ウルツ鉱型構造を示し、C軸に沿って優先配向成長し、薄膜層数の増加により薄膜の結晶品質を有効に向上させることができる。一方,Mg-Al共ドーピングは,近赤外スペクトル領域におけるZnO薄膜の光透過率を非常に大きくし,平均透過率は85%を超えた。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： スピンコーティング ,  キャラクタリゼーション ,  透過率 ,  ゾル-ゲル法 ,  六方晶系 ,  アルミニウム ,  優先配向 ,  *ドーピング ,  光学的性質 ,  *薄膜 ,  光ルミネセンス
準シソーラス用語： 光透過率 ,  共ドーピング ,  ウルツ鉱型構造 ,  石英基板 ,  *ZnOフィルム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： sol-gel ,  Mg-Al co-doped ,  ZnO thin films ,  optical properties

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (3件)： ZnO薄膜 ,  ドープ ,  研究