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J-GLOBAL ID：201702223021663416   整理番号：17A1383250

磁場と電場結合HFCVDによる炭素ナノコーンアレイのプラズマ促進合成【Powered by NICT】

Plasma-enhanced synthesis of carbon nanocone arrays by magnetic and electric fields coupling HFCVD

著者 (12件)： Li Jiaxin (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Wang Yijia (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Wei Qiuping (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Wei Qiuping (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Xie Youneng (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Long Hangyu (School of Geosciences and Info-physics, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Deng Zejun (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Ma Li (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Yu Zhiming (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Jiang Yunlu (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Hu Naixiu (School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, PR China) ,  Zhou Kechao (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, PR China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 324  ページ： 413-418  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,熱フィラメント化学蒸着(HFCVD)を結合した磁場と電場を用いて,ナノ結晶ダイヤモンド(NCD)から炭素ナノコーンアレイへの炭素膜を作製した。膜の表面形態と組成を走査型電子顕微鏡とRaman分光法により調べた。磁場を添加した後,成長したままのNCD膜の形態は,磁場の不在下で得られた凹凸地形の代わりに密集型であった。電場強度が増加するにつれて,NCD膜のエッチング度を高め,微結晶グラファイトへのNCDの構造変化が生じた。磁場と電場が効果的に膜堆積プロセスを最適化するHFCVDシステムへのプラズマを導入することができる,磁場と電場の影響を研究したことを提案した。電場の存在は,反応性ガスのイオン化を促進し,磁場が試料周辺のある領域に結合したこれらのイオンガスを,プラズマの局所密度を増加させた。特に,磁場と電場の相乗効果,最適な電界放出特性を示し,5.65Vの最低ターン-オン電界を示し,得られたユニークな炭素ナノコーンアレイ。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  電界放出 ,  *プラズマ ,  最適化 ,  Raman分光法 ,  *磁場 ,  ターンオン ,  微結晶 ,  形態 ,  *電場 ,  ダイヤモンド ,  グラファイト
準シソーラス用語： *ナノコーン ,  表面形態 ,  *HFCVD , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ダイヤモンド ,  黒鉛 ,  磁場 ,  電場 ,  ナノコーン ,  電子電界放出

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 磁場 ,  電場 ,  HFCVD ,  炭素 ,  ナノコーン ,  アレイ ,  プラズマ ,  促進