文献

J-GLOBAL ID：201702223129462804   整理番号：17A0216487

単結晶の複屈折シミュレーション

Birefringence simulations of single crystals

著者 (2件)： KITAMURA Yuta (Structure Analysis Group, Structural Strength Department Research Laboratory, IHI Corporation) ,  MIYAZAKI Noriyuki (Green Electronics Research Institute, Kyoto University and Kyushu University)
資料名： Mechanical Engineering Reviews (Web)  (Mechanical Engineering Reviews (Web))
巻： 4  号： 1  ページ： 16-00376(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0456A  ISSN： 2187-9753  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 等軸晶系に属するフッ化カルシウム(CaF₂)や正方晶系に属するフッ化マグネシウム(MgF₂)のようなフッ化物単結晶は,高出力リソグラフィー・システムの光学素子として利用される。単結晶のこのような用途では,複屈折が光学性能に影響する重要な現象である。現著者により公表された論文に基づいて,ここではCaF₂とMgF₂の単結晶の複屈折をレビューし,応力複屈折に加えて本質的複屈折にも対処する。まず,応力複屈折の計算方法を紹介する。それは正確な方法であるJones計算と近似的方法である平均応力法であり,ここでは二つの方法の間の関係を与える。CaF₂単結晶のアニーリング後の応力複屈折シミュレーションでは,クリープと呼ばれる時間依存性・非線形変形挙動が,応力複屈折を誘起する残留応力の計算に重要であることを指摘する。光の波長が真空紫外領域になると,CaF₂単結晶は,応力複屈折に加えて本質的複屈折を示す。ArFエキシマレーザー光源のCaF₂単結晶窓の複屈折シミュレーションを,応力複屈折と本質的複屈折の両方を考慮して行い,CaF₂単結晶窓の光学特性を評価して最適条件を得た。MgF₂単結晶は,その強い結晶異方性のために,可視光に対しても本質的複屈折を示す。MgF₂単結晶の複屈折解析の結果を,可視光状態下で応力複屈折と本質的複屈折の組み合わせ例として示す。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *単結晶 ,  *複屈折 ,  *シミュレーション ,  *フッ化カルシウム ,  *フッ化マグネシウム ,  *光学素子 ,  *残留応力 ,  *異方性 ,  可視光 ,  真空紫外線 ,  立方晶系 ,  正方晶系 ,  出力 ,  リソグラフィー ,  Jones行列 ,  平均応力 ,  焼なまし
準シソーラス用語： 応力複屈折 ,  固有複屈折 ,  結晶異方性 ,  等軸晶【結晶系】 ,  高出力

著者キーワード (9件)： Stress birefringence ,  Intrinsic birefringence ,  Calcium fluoride single crystal ,  Magnesium fluoride single crystal ,  Optical elements ,  Residual stress ,  Crystal anisotropy ,  Visible light ,  Vacuum ultraviolet region

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

引用文献 (61件)：

• Abbott, J., Wang, L., Price, M., Allan, D. and Slater, I., Prediction of CaF₂ optical prediction from thermal-stress models, 4th International Symposium on 157nm Lithography Yokohama, Japan (2003).
• Asoubar, D. and Wyrowski, F., Fully vectorial laser resonator modelling of continuous-wave solid-state lasers including rate equations, thermal lensing and stress-induced birefringence, Optics Express, Vol.23, No.15 (2015), pp.11802-18822.
• Brickus, D. and Dement’ev, A. S., On the use of photoelastic effect and plane strain or plane stress approximations for the description of thermal lensing, Lithuanian Journal of Physics, Vol.56, No.1 (2016), pp.9-20.
• Burnett, J. H., Levine, Z. H. and Shirley, E. L., Intrinsic birefringence in calcium fluoride and barium fluoride, Physical Review B, Vol.64, No.24 (2001), Article No. 241102.
• Burnett, J. H., Levine, Z. H., Shirley, E. L. and Bruning, J. H., Symmetry of spatial-dispersion-induced birefringence and its implications for CaF₂ ultraviolet optics, Journal of Microlithography, Microfabrication and Microsystems, Vol.1, No.3 (2002), pp.213-224.

タイトルに関連する用語 (3件)： 単結晶 ,  複屈折 ,  シミュレーション