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J-GLOBAL ID:201702223645705566   整理番号:17A1195730

多様なニーズに応える3次元ビジョン 超高精度内管3D検査システム

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巻: 49  号: 10  ページ: 31-33,13  発行年: 2017年10月01日 
JST資料番号: Z0577B  ISSN: 1346-1362  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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・極細径加工技術では加工穴に内視鏡を挿入して目視検査を行うのが主で,精密に検査をする場合には製品の破壊検査が必要。
・本論文では,破壊検査を行わずに内管の内面を精密に計測するために,液面分光3D顕微鏡に内視鏡ユニットと対物レンズをマウントした3D内管検査システムを紹介。
・本システムでは3Dスコープのような高さ方向を計測でき,高精度で安価なPhase View社の液面光学式の顕微鏡を改造し,オリジナルの内視鏡ユニットを装備して内管の内面に直接顕微鏡を入れる構成として,1)内管部側面の形状加工部の3D計測,2)穴部エッジ部分のR測定,平面平行度測定,3)360度回転機構やXYZステージなどを用いた検査の完全自動化,4)画像検査システムの導入による計測と検査の同時実行,5)閾値によるNG判定の自動化が可能。
・特に,燃費などに影響を及ぼす自動車やバイクの内燃機関の部品における極細径の加工や,半導体の部材や医療関連向けの精密ガラス加工などで必要とされる細径の穴加工には検査の自動化用途でニーズがあることを説明。
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分類 (4件):
分類
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パターン認識  ,  図形・画像処理一般  ,  信頼性  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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