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J-GLOBAL ID：201702223706808026   整理番号：17A1754165

パターン化酸化亜鉛アレイの調製とその電界放出特性の研究【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and field emission properties of patterned ZnO arrays

著者 (6件)： Kang Dongru (福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州,350002) ,  Ye Yun (福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州,350002) ,  Wang Jiangsheng (福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州,350002) ,  Lv Shanhong (福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州,350002) ,  Xin Qi (福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州,350002) ,  Guo Tailiang (福州大学 物理与信息工程学院,福建 福州,350002)
資料名： Yejing yu Xianshi  (Yejing yu Xianshi)
巻： 32  号： 5  ページ： 367-371  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1519A  ISSN： 1007-2780  CODEN： YYXIFY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 電界放出の遮蔽効果を減少させるために,酸化亜鉛(ZnO)ナノロッドアレイを,パターン化技術によって調整し,そして,パターン化ZnOアレイの性能を,研究した。まず、フォトリソグラフィー法を用いてITO導電ガラス上に図形化ZnO種子層を作製し、電着法により図形化種子層上にZnOナノ枝アレイを成長させた。走査型電子顕微鏡(SEM)とX線回折(XRD)を用いて,ZnO薄膜のモルフォロジーと構造を研究し,電界放出特性を試験した。研究結果により、調製した図形化ZnOナノデンドライトは円形アレイであり、直径は330μmで、ナノZnOの平均直径は400~500nmであり、幹上には細い類似の円錐状のナノメートル級微細構造があり、良好な電界放出性能があることが分かった。ターンオン場は2.15V/μmで,場増強因子は16109であった。このパターン化ZnOアレイ陰極の方法は,電界放出特性を改善するための有望な方法であり,電界放出応用分野において良好な展望を示した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電着 ,  ガラス ,  X線回折 ,  ターンオン ,  走査電子顕微鏡 ,  *パターン形成 ,  *電界放出 ,  *酸化亜鉛 ,  モルフォロジー ,  円錐 ,  フォトリソグラフィー ,  微細構造
準シソーラス用語： ZnOフィルム ,  ナノロッドアレイ ,  遮蔽効果 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： patterned ,  dendritic ZnO ,  electrodeposition ,  field emission

分類 (1件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： パターン化 ,  酸化亜鉛 ,  アレイ ,  調製 ,  電界放出 ,  研究