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J-GLOBAL ID：201702223748806388   整理番号：17A0368572

ハイブリッド集積マイクロシステムを用いた液体懸濁液中での光学的粒子検出【Powered by NICT】

Optical particle detection in liquid suspensions with a hybrid integrated microsystem

著者 (5件)： Bernat I. (Department of Electronics, Faculty of Physics, University of Barcelona (UB), Marti i Franques, 1, 08028 Barcelona, Spain) ,  Gonzalez-Murillo J.J. (Department of Electronics, Faculty of Physics, University of Barcelona (UB), Marti i Franques, 1, 08028 Barcelona, Spain) ,  Fonseca L. (Institute of Microelectronics of Barcelona-IMB-CNM (CSIC), Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain) ,  Moreno M. (Department of Electronics, Faculty of Physics, University of Barcelona (UB), Marti i Franques, 1, 08028 Barcelona, Spain) ,  Romano-Rodriguez A. (Department of Electronics, Faculty of Physics, University of Barcelona (UB), Marti i Franques, 1, 08028 Barcelona, Spain)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 247  ページ： 629-640  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,粒子流検出のための光学マイクロシステム,ハイブリッド集積化,シリコンマイクロマシニングに基づいて提示した。センシング原理を光遮蔽である。光学的要求を満足し,減少した直径スポット(1/e~2標準として測定した124μmの最小半径)四コリメートレーザビームを提供する低次元(14mm×12mm)と低消費電力(≒7.2mW)の光電子パッケージを作成するために光源(850nm近赤外垂直共振器形面発光レーザVCSEL)と光学(マイクロレンズアレイ)のような市販の部品を集積化したケイ素作製した構造への実現可能性を実証した。この微小光学システムに加えて,検出系は,0.35μm CMOS技術で設計し,作製し,256画素の二重線形アレイイメージングセンサとマイクロ流体プラットフォームを用いて完了した。設計したセットアップは,いくつかの平行マイクロ流体チャネルを通る液体懸濁液中を流れる単一整列したマイクロビーズの同時光学検出,レーザ発光源のピッチ,すなわち250μmを共有することを可能にした。システムのスループットは並行測定を行う可能性のおかげで5000粒子/sまで増加するが,画像センサの二重アレイは偽検出されたイベントを検出プロセスを改善した。実験結果は,このシステムは混合溶液中のいくつかの大きさの微粒子を検出し,識別,直径10μmで検出限界できることを証明した。結論として,作製したマイクロシステムは,光ファイバの使用に基づく現在の光学的マイクロフローサイトメータに小型でロバストな代替法として提示されると,フルイディクスとイメージングセンサ段階を含む,完全なシステムは5cm~3以下で包装した携帯型解決策を意味している。これらの特徴は,ポイント-オブ-ケアバイオセンシング応用の分野において考慮すべき興味ある選択となる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ケイ素 ,  フルイディクス ,  発光 ,  近赤外線 ,  携帯型 ,  スループット ,  垂直共振器形面発光レーザ ,  光検出 ,  マイクロレンズ ,  イメージセンサ ,  マイクロチャネル ,  ロバスト性 ,  画素 ,  *懸濁液
準シソーラス用語： マイクロ流体 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： VCSEL ,  マイクロレンズ ,  オプティカルフローサイトメトリー ,  微粒子 ,  ハイブリッド集積 ,  ポイント・オブ・ケア ,  高スループット ,  イメージングアレイ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集積 ,  マイクロシステム ,  懸濁液 ,  光学 ,  粒子検出