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J-GLOBAL ID：201702224160980622   整理番号：17A0054810

圧電管走査装置の高精度位置決めのための新しい制御法【Powered by NICT】

A Novel Control Approach for High-Precision Positioning of a Piezoelectric Tube Scanner

著者 (3件)： Habibullah H. (School of EIT, University of New South Wales, Canberra, Australia) ,  Pota Hemanshu Roy (School of EIT, University of New South Wales, Canberra, Australia) ,  Petersen Ian R. (School of EIT, University of New South Wales, Canberra, Australia)
資料名： IEEE Transactions on Automation Science and Engineering  (IEEE Transactions on Automation Science and Engineering)
巻： 14  号： 1  ページ： 325-336  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1406A  ISSN： 1545-5955  CODEN： ITASC7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(A FM)に使用される圧電管走査装置の高精度螺旋位置決めのための最適コントローラを提案した。提案した制御方式では,圧電チューブスキャナ(PTS)を組み込んだ共振周波数でPTSの振動を抑制することである二次振動補償器。基準正弦波信号の内部モードは増大したプラントモデルの中に含まれ,積分器は,入力/出力正弦曲線の間の位相誤差を低減する線形二次Gaussコントローラを導入した。提案した方法は,ラスタ走査法の代替案としての高走査速度で走査するために市販のA FMを可能にした。この制御器の性能は,閉ループ周波数応答,追跡精度,スパイラル走査画像のセットを用いて評価した。標準A FM PI制御器を用いて得られたラスタ走査画像はまた,螺旋状の画像との比較のために提示した。実験結果は,提案した方法の有効性を証明した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 補償装置 ,  *走査装置 ,  原子間力顕微鏡 ,  周波数応答 ,  正弦波 ,  *位置決め ,  制御装置 ,  *走査 ,  積分器 ,  共振周波数 ,  *圧電気
準シソーラス用語： 走査速度 ,  ラスタースキャン ,  位相誤差 ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ロボットの運動・制御  (IC04012J)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電 ,  走査装置 ,  制御法