文献

J-GLOBAL ID：201702224890643794   整理番号：17A0381632

せん断力センサの性能向上の実施と従来以上への簡単な方法【Powered by NICT】

A simple method to implement and further performances enhancement of the shear force sensor

著者 (5件)： Chen Hung-Yen (Institute of NanoEngineering and MicroSystem, National Tsing Hua University, Taiwan) ,  Huang Ching-Yu (Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Taiwan) ,  Lai Wei-Cheng (Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Taiwan) ,  Chen Rongshun (Institute of NanoEngineering and MicroSystem, National Tsing Hua University, Taiwan) ,  Fang Weileun (Institute of NanoEngineering and MicroSystem, National Tsing Hua University, Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1017-1020  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,高分子充填剤(PDMS)を用いたSOIウエハを用いたせん断力センサを設計する簡単な方法を報告した。せん断力センサは三センシングユニットを含む圧電抵抗器をもつ二片持梁は,センシングユニット二つの直交方向のせん断力を検出し,圧電抵抗器をもつ中央膜は,垂直負荷を監視するための感知装置である。高分子充填剤は,懸濁センシングユニットの力伝達と保護層のための界面層として機能する。せん断力センサの性能は,センシングカンチレバーの共振器サイズを変えることにより改善することができる。測定は空洞サイズW_cavity×L_cavityは300μm×550μmから700μm×1350μmに増加すると感度は4倍(0.039%/kPaから0.17%/kPaまで)増加することを示した。本研究では,せん断力センサの性能を変化させる設計とプロセスの両方への簡単なアプローチを提供する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振器 ,  検出器 ,  *剪断 ,  片持梁 ,  直交性 ,  高分子 ,  *剪断力
準シソーラス用語： 界面層 ,  圧電抵抗 ,  *力センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (3件)： せん断力 ,  性能向上 ,  実施