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J-GLOBAL ID：201702224961499271   整理番号：17A1242555

光のナノ集光を用いた先進的Raman分光法【Powered by NICT】

Advanced Raman Spectroscopy Using Nanofocusing of Light

著者 (10件)： Nuytten Thomas (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  Bogdanowicz Janusz (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  Hantschel Thomas (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  Schulze Andreas (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  Favia Paola (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  Bender Hugo (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  De Wolf Ingrid (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  De Wolf Ingrid (Dept. of Materials Engineering, KU Leuven, B-3001 Leuven, Belgium) ,  Vandervorst Wilfried (imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium) ,  Vandervorst Wilfried (Instituut voor Kern- en Stralingsfysica, KU Leuven, B-3001 Leuven, Belgium)
資料名： Advanced Engineering Materials  (Advanced Engineering Materials)
巻： 19  号： 8  ページ： null  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2018A  ISSN： 1438-1656  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Raman分光法は,応力および組成のような重要な材料特性に独自に感受性であるが,本質的に回折限界であり,ナノ構造素子への応用可能性を妨げる。正しい分極条件下では,フィンの周期的アレイからのRaman応答は劇的に半導体材料内部の増強され,深サブ波長半導体パターンの迅速で非破壊的な光学的特性評価を再可能にした。本論文では,最初に観察された効果は,材料システムに限定されないことが示され,様々な半導体材料のナノ集束Raman分光法の結果を示した。増強の普遍性をナノスケールで非侵襲的で迅速な応力と組成測定のためのユニークな可能性をいかに作るかを例示し,議論した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 半導体 ,  感受性 ,  フィン ,  *集光 ,  光学的性質 ,  半導体材料 ,  *Raman分光法 ,  ナノ構造 ,  サブ波長 ,  普遍性 ,  分極
準シソーラス用語： ナノスケール ,  ナノ集束 ,  回折限界 ,  材料特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 有機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル  (BM08064T) ,  生物物理的研究法  (EA03020V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 集光 ,  Raman分光法