文献

J-GLOBAL ID：201702225170793314   整理番号：17A1862136

ZnO薄膜の構造と光学的性質に及ぼす酸素分圧と透明基板の影響とエネルギーハーベスタにおける性能に関する研究【JST・京大機械翻訳】

著者 (7件)： Yan-ping Xia (SCHOOL OF PHYSICS & MATERIALS SCIENCE,ANHUI UNIVERSITY,HEFEI 230601,CHINA) ,  Pei-hong Wang (SCHOOL OF PHYSICS & MATERIALS SCIENCE,ANHUI UNIVERSITY,HEFEI 230601,CHINA) ,  Shi-wei Shi (SCHOOL OF PHYSICS & MATERIALS SCIENCE,ANHUI UNIVERSITY,HEFEI 230601,CHINA) ,  Gang He (SCHOOL OF PHYSICS & MATERIALS SCIENCE,ANHUI UNIVERSITY,HEFEI 230601,CHINA) ,  Miao Zhang (SCHOOL OF PHYSICS & MATERIALS SCIENCE,ANHUI UNIVERSITY,HEFEI 230601,CHINA) ,  Jian-guo Lue (SCHOOL OF ELECTRONIC & INFORMATION ENGINEERING,HEFEI NORMAL UNIVERSITY,HEFEI 230601,CHINA) ,  Zhao-qi Sun (SCHOOL OF PHYSICS & MATERIALS SCIENCE,ANHUI UNIVERSITY,HEFEI 230601,CHINA)
資料名： International Journal of Minerals, Metallurgy and Materials  (International Journal of Minerals, Metallurgy and Materials)
巻： 24  号： 6  ページ： 675-680  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1051A  ISSN： 1674-4799  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化亜鉛(ZnO)薄膜を,種々の基板-すずドープ酸化インジウム(ITO)/ガラス,ITO/ポリエチレンナフタレート(PEN),ITO/ポリエチレンテレフタレート(PET)上に,ラジオ周波数(RF)マグネトロンスパッタリング法により蒸着した。種々のO2/(Ar+O2)ガス流量比(0,0.1,0.2,0.3,0.4,0.5,0.6)の影響を詳細に調べた。ITO/PEN及びITO/PET基板上に堆積したZnO層は,ITO/ガラス上に堆積したZnOに比べて(0002)方向に沿って強いc軸優先配向を示した。ZnO膜の透過率スペクトルは,ITO/ガラス,ITO/PEN,およびITO/PET基板上に堆積したZnO膜の最大透過率が,それぞれ89.2%,65.0%,および77.8%であることを示していることを明らかにした。膜表面の走査電子顕微鏡(SEM)像は,結晶粒が均一であることを示した。断面SEM像は,ZnO膜が柱状構造を持つことを示したが,それは膜表面に対して垂直であることが示された。製作したZnO薄膜ベースのエネルギーハーベスタに対する試験結果は,その出力電圧が外部振動の加速度の増加とともに増加することを示した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *光学的性質 ,  結晶粒 ,  透過率 ,  ガラス ,  優先配向 ,  周波数 ,  酸化インジウム ,  ドーピング ,  走査電子顕微鏡 ,  酸化亜鉛 ,  *薄膜 ,  マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： 柱状構造 ,  *エネルギーハーベスタ ,  *酸素分圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： ZnO薄膜 ,  光学的性質 ,  酸素分圧 ,  透明基板 ,  エネルギーハーベスタ ,  研究