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J-GLOBAL ID：201702225236473517   整理番号：17A1632749

MEMSナノポジショナのKalmanフィルタを可能にした高速制御【Powered by NICT】

Kalman Filter Enabled High-Speed Control of a MEMS Nanopositioner

著者 (4件)： Ruppert Michael G. (School of Electrical Engineering and Computer Science, The University of Newcastle, Callaghan, NSW, 2308, Australia) ,  Maroufi Mohammad (Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, 75080, USA) ,  Bazaei Ali (School of Electrical Engineering and Computer Science, The University of Newcastle, Callaghan, NSW, 2308, Australia) ,  Moheimani S.O. Reza (Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, 75080, USA)
資料名： IFAC PapersOnLine  (IFAC PapersOnLine)
巻： 50  号： 1  ページ： 15554-15560  発行年： 2017年 
JST資料番号： W3101A  ISSN： 2405-8963  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 参照信号の振幅と位相を独立して調節する線形時変Kalmanフィルタに基づく新しいトラッキング制御器定式化を実証した。法は高速原子間力顕微鏡(A FM)の画像に通常用いられるらせん,サイクロイドおよびリサージュ軌道のような正弦波参照に適用可能である。基本共振周波数は付加的減衰フィードバックループにより弱められる,マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)に基づくナノ位置決め装置を採用した。2μmの走査範囲のために,わずか4.6nmの追跡誤差で5kHz,開ループ基本共鳴を超えて,高頻度で正弦波の実験的追跡を実証した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 定式化 ,  位相 ,  追従制御 ,  画像 ,  基準信号 ,  *MEMS ,  走査 ,  *Kalmanフィルタ ,  正弦波 ,  共振周波数 ,  線形性
準シソーラス用語： ナノポジショニング ,  フィードバックループ ,  高速原子間力顕微鏡 ,  *高速制御 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： マイクロシステム ,  マイクロ ,  ナノメカトロニックシステム ,  位置決めシステム ,  Kalmanフィルタ ,  追跡

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  ポジショナ ,  Kalmanフィルタ ,  高速制御