文献

J-GLOBAL ID：201702225301883558   整理番号：17A0474357

アンドープSnO_2とIn_2O_3膜とそれらの構造特性の噴霧熱分解堆積【Powered by NICT】

Spray pyrolysis deposition of undoped SnO₂ and In₂O₃ films and their structural properties

著者 (2件)： Korotcenkov G. (School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology, 123 Cheomdangwagi-ro, Buk-gu, Gwangju, 61005, Republic of Korea) ,  Cho B.K. (School of Material Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology, 123 Cheomdangwagi-ro, Buk-gu, Gwangju, 61005, Republic of Korea)
資料名： Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials  (Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials)
巻： 63  号： 1  ページ： 1-47  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0655A  ISSN： 0960-8974  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿ではスプレー熱分解により堆積したSnO_2とIn_2O_3膜の構造解析の結果を提示した。この解析の主目的は,この分野で得られた結果を要約して,膜堆積と材料構造のパラメータの間の相関に焦点を当て,いくつかの一般的な規則性,金属酸化物に典型的なを定式化した。パイロゾル堆積の特異性と機構だけでなく,必要なパラメータを持つ膜の堆積のためのこの技術の利点と欠点についても考察した。はこの技術は,厚さ,結晶粒サイズ,テクスチャリング,粗さ,結晶粒ファセットおよび多孔性のような金属酸化物の構造パラメータを制御するための大きな可能性を持っていることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多孔性 ,  金属酸化物 ,  テキスチャード加工 ,  構造パラメータ ,  定式化 ,  結晶粒 ,  構造解析 ,  *構造特性 ,  ファセット ,  規則度 ,  結晶粒径
準シソーラス用語： テクスチャ ,  特異性 ,  スプレー熱分解 ,  *噴霧熱分解法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： Morphology ,  粒径 ,  成長の速度 ,  テクスチャ付与 ,  厚さ ,  Faceting ,  ストレス

分類 (2件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 構造特性 ,  噴霧熱分解 ,  堆積