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J-GLOBAL ID：201702225424877430   整理番号：17A1724373

>4%k_t~2非対称伸展AlN Lamb波共振器【Powered by NICT】

Anti-symmetric shear-extensional AlN lamb-wave resonators with k_t² > 4%

著者 (3件)： Jo Bumkyung (Electrical and Computer Engineering University of Florida Gainesville, USA) ,  Ghatge Mayur (Electrical and Computer Engineering University of Florida Gainesville, USA) ,  Tabrizian Roozbeh (Electrical and Computer Engineering University of Florida Gainesville, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EFTF IFCS  ページ： 570-571  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,大きな電気機械結合因子(k_t~2)を実現するための横方向(d_31)およびせん断(d_15)圧電定数を利用して同時に導波路窒化アルミニウム共振器を提示し,横寸法により定義された周波数をもつ。共存する面内伸張と厚み-せん断弾性エネルギー分布をもつ反対称Lamb波は,適切な分散エネルギートラッピングと共に用いてAlN膜の横方向およびせん断電気機械結合を同時に活用することである。特に,せん断伝達(k_t15~2)はAlN膜の大きなd_15定数(柱状単結晶性による)と同様に低い面内相対誘電率(面内ポリ結晶度のために)から利益を得て,全体k_t~2を著しく改善した。~1400とk_t~2~4.4%のQを持つ733MHzで動作する概念実証素子を実証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 導波路 ,  電気機械 ,  *非対称性 ,  結晶度 ,  *Lamb波 ,  *共振器 ,  周波数 ,  延伸 ,  単結晶 ,  *窒化アルミニウム ,  弾性 ,  剪断 ,  誘電率 ,  エネルギー分布
準シソーラス用語： 圧電定数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 音波伝搬  (BB03030G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 非対称 ,  伸展 ,  AlN ,  Lamb波 ,  共振器