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J-GLOBAL ID:201702225811433328   整理番号:17A0557884

真空処理における露点対酸素含有量(その2)

Dew Point vs. Oxygen Content in Vacuum Processing (part 2)
著者 (1件):
資料名:
巻: 2017  号: Mar  ページ: 36-38  発行年: 2017年03月 
JST資料番号: C0165A  ISSN: 0019-8374  CODEN: INHTA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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すべての熱処理装置において,露点および酸素含有量の正確な計測は,製造部品の品質,工程に重要な影響を及ぼす。これら計測機器周囲の温度・湿度は,時間単位・日単位・週単位・月単位等で大きく変動する。このため,この環境条件および用途によって最適な自動サンプリング機能,異常時のアラーム機能,機器較正機能など計測機器に求められる要件が異なる。正確な露点計測は,その周囲温度に最も影響を受ける。真空処理機器において,少量の水分量を測定する露点分析器は,通常の大気圧条件に比べより高い精度が要求される。また,真空処理プロセスで使用されるクリーンで,乾燥した不活性ガスにおいては,酸素トレース分析装置から得られる酸素含有量が信頼できる。
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分類 (2件):
分類
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温度測定,温度計  ,  油圧・空気圧・真空機器一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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