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J-GLOBAL ID：201702226145093788   整理番号：17A1348905

原子間力顕微法のための増強高い固有モードを持つ圧電片持梁の設計と解析【Powered by NICT】

Design and analysis of piezoelectric cantilevers with enhanced higher eigenmodes for atomic force microscopy

著者 (3件)： Moore Steven I. (School of Electrical Engineering and Computing, The University of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, Australia) ,  Ruppert Michael G. (School of Electrical Engineering and Computing, The University of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, Australia) ,  Yong Yuen K. (School of Electrical Engineering and Computing, The University of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, Australia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： AIM  ページ： 719-724  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積された作動とセンシングを用いた原子間力顕微鏡(A FM)片持梁は清浄な周波数応答,ダウンスケーリングの可能性とカンチレバーアレイへの並列化のような従来のカンチレバー装置上のいくつかの明確な利点だけでなく光学intereferencesが存在しないことを提供する。しかし,カンチレバーのより高い固有モードを含む多周波A FM技術のための,変換器位置とレイアウトの最適化を考慮に入れなければならない。本研究では,片持梁の偏向と空間歪分布に基づく与えられた高い固有モードのための圧電電荷応答を最大化するカンチレバー上に複数集積圧電領域を提案した。有限要素解析は最適変換器トポロジーを見出すために実施し,実験結果は第二モードで38dBまで三モードとセンサ感度向上に関する42dBまでを作動利得改善を強調した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *固有モード ,  周波数応答 ,  最適化 ,  *圧電気 ,  位相幾何学 ,  *顕微鏡観察 ,  歪分布 ,  *片持梁 ,  センサ ,  電荷 ,  原子間力顕微鏡 ,  利得 ,  変換器
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  *原子間力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  梁,桁  (HD03020H)

タイトルに関連する用語 (8件)： 原子間力 ,  顕微法 ,  増強 ,  固有モード ,  圧電 ,  片持梁 ,  設計 ,  解析