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J-GLOBAL ID：201702226273701191   整理番号：17A1457330

プラズマ浸漬イオン注入によるチタン注入したアルミナセラミックの表面絶縁特性【Powered by NICT】

Surface insulating properties of titanium implanted alumina ceramics by plasma immersion ion implantation

著者 (7件)： Zhu Mingdong (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, PR China) ,  Zhu Mingdong (Science and Technology on High Power Microwave Laboratory, Institute of Applied Electronics, CAEP, Mianyang 621900, PR China) ,  Song Falun (Science and Technology on High Power Microwave Laboratory, Institute of Applied Electronics, CAEP, Mianyang 621900, PR China) ,  Li Fei (Science and Technology on High Power Microwave Laboratory, Institute of Applied Electronics, CAEP, Mianyang 621900, PR China) ,  Jin Xiao (Science and Technology on High Power Microwave Laboratory, Institute of Applied Electronics, CAEP, Mianyang 621900, PR China) ,  Wang Xiaofeng (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, PR China) ,  Wang Langping (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, PR China)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 407  ページ： 155-159  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高電圧下の真空中のアルミナセラミックの絶縁特性は,主にその表面特性によって制限される。プラズマ浸漬イオン注入(PIII)は,アルミナセラミックの表面化学的および物理的性質を修飾する効果的な方法である。真空中のアルミナセラミックの表面フラッシュオーバ電圧を改善するために,約20keVのエネルギーを持つチタンイオンはPIII法を用いたアルミナセラミックの表面に移植した。チタンの化学状態,形態および表面抵抗率のような,注入したままの試料の表面特性を,X線光電子分光法,走査型電子顕微鏡および電位計によってそれぞれキャラクタリゼーションした。注入したままのアルミナ試料の表面フラッシュオーバ電圧は真空表面フラッシュオーバ実験系で測定した。XPSスペクトルはTi,TiO_2とAl_2O_3の化合物はアルミナ試料の内部表面に形成されたことを明らかにした。電位計の結果は,注入したアルミナの表面抵抗率は増加した移植時間と共に減少することを示した。添加では,チタンイオン注入後の,アルミナの最大ホールドオフ電圧が38.4kVまで増加し,これは,非注入アルミナセラミックのそれより21.5%高かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 表面性状 ,  スペクトル ,  走査電子顕微鏡 ,  界面化学 ,  X線光電子スペクトル ,  *チタン ,  電位計 ,  フラッシュオーバ ,  *アルミナ ,  電圧 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： 化学状態 ,  チタンイオン ,  *アルミナセラミック , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： アルミナセラミック ,  プラズマ浸漬イオン注入 ,  表面抵抗率 ,  表面フラッシュオーバ

分類 (2件)： 金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ浸漬イオン注入 ,  チタン ,  注入 ,  アルミナセラミック ,  絶縁特性