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J-GLOBAL ID：201702226276600651   整理番号：17A1418557

水性マイクロスーパーキャパシタのアノードとしてのマグネトロンスパッタリングにより堆積した新しい[111]配向γMo_2N薄膜【Powered by NICT】

Novel [111] oriented γ-Mo₂N thin films deposited by magnetron sputtering as an anode for aqueous micro-supercapacitors

著者 (3件)： Chen Limin (State Key Laboratory of New Ceramics and Fine Processing, School of Materials Science and Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, People’s Republic of China) ,  Liu Can (Institute for Catalysis, Hokkaido University, Sapporo 001-0021, Japan) ,  Zhang Zhengjun (Key Laboratory of Advanced Materials, School of Materials Science and Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, People’s Republic of China)
資料名： Electrochimica Acta  (Electrochimica Acta)
巻： 245  ページ： 237-248  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0535B  ISSN： 0013-4686  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： γMo_2N薄膜を,反応性dcマグネトロンスパッタリングを用いて堆積した,0.05V~0.85V対SCEの作動電位窓を有するLi_2SO_4の水溶液中での電極材料として試験した。形態,構造と電気化学的性質を種々の堆積条件の膜で系統的に研究した。γMo_2N膜の電気化学的特性は,堆積温度に依存するだけでなく,Ar N_2ガス混合物中の窒素濃度に依存することが分かった。400°C窒素濃度で 0.35~1時間堆積した試料は緻密な微細構造と強い(111)集合組織を示した。は最良の電気化学的特性を示し,5mV/sとし~ 1で高い体積静電容量722fcm~ 3の220msの緩和時定数と中程度の定格,および2000サイクル後に100%の容量保持の優れたサイクル安定性を有する。(111)-配向γMo_2N膜はマイクロ電気化学キャパシタ用のアノード材料の有望な候補であることが示唆された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 反応性 ,  時定数 ,  集合組織 ,  混合気体 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  静電容量 ,  水溶液 ,  *薄膜 ,  電極材料 ,  微細構造
準シソーラス用語： アノード材料【電池】 ,  電気化学キャパシタ ,  窒素濃度 ,  電気化学的特性 ,  電気化学窓 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 窒化モリブデン ,  texture ,  水性マイクロスーパーキャパシタ ,  アノード材料 ,  反応性直流マグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 電気化学反応  (CB07050F)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロスーパーキャパシタ ,  アノード ,  マグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  配向 ,  薄膜