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J-GLOBAL ID：201702226634782929   整理番号：17A1570954

二段階静電アクチュエーションを用いたアナログシリコンフォトニックMEMS移相器【Powered by NICT】

Analog Silicon Photonic MEMS phase-shifter with double-step electrostatic actuation

著者 (7件)： Sattari Hamed (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland) ,  Graziosi Teodoro (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland) ,  Kiss Marcell (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland) ,  Seok Tae Joon (Gwangju Institute of Science and Technology, Gwangju 61005, Republic of Korea) ,  Han Sangyoon (Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon 34141, Republic of Korea) ,  Wu Ming C. (Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California, Berkeley, CA, 94720, USA) ,  Quack Niels (E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne (EPFL), Lausanne, Switzerland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： OMN  ページ： 1-2  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直移動断熱結合器に基づくアナログシリコンフォトニックMEMS移相器の設計を提示した。2段静電駆動法を用いて,移相器は第一対電極の作動電圧を印加することにより選択的にオンにすることができ,光学信号の位相は,第二電極対で作動電圧を印加することにより連続的に調整することができた。19V駆動電圧で20nmの機械的運動は,完全なπ位相シフトを可能にした。設計は60μm×44μmのコンパクトなフットプリントと0.1dB以下の低い過剰挿入損失を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 垂直移動 ,  電圧 ,  位相シフト ,  結合器 ,  光信号 ,  *MEMS ,  位相 ,  *移相器 ,  挿入損
準シソーラス用語： フットプリント ,  駆動電圧 ,  対極 ,  静電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の伝送回路素子  (NC04070U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 段階 ,  MEMS ,  移相器