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J-GLOBAL ID：201702226821833135   整理番号：17A1956924

TOF-ERDA測定における酸素の検出感度の評価

Evaluation of Sensitivity for Oxygen by means of TOF-ERDA Measurements

著者 (6件)： 安田啓介 (京都府大) ,  梶取悠太 (京都府大 生命環境) ,  大石桃未 (京都府大 生命環境) ,  春山洋一 (京都府大) ,  中田吉則 (若狭湾エネルギー研究セ) ,  鈴木耕拓 (若狭湾エネルギー研究セ)
資料名： 若狭湾エネルギー研究センター研究年報  (Annual Report of the Wakasa Wan Energy Research Center)
巻： 19  ページ： 80-81  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： L6940A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 銅および炭素イオンを用いた飛行時間測定弾性反跳粒子検出(TOF-ERDA)法における,シリコン基板にイオン注入された酸素の検出感度を測定した。エネルギーが12MeVの銅ビームを用いた測定で3.1×10¹⁴cm^-2という面密度の検出下限の値が得られた。これは原子数比で600ppmに相当する。(著者抄録)

タイトルに関連する用語 (4件)： TOF ,  酸素 ,  検出感度 ,  評価