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J-GLOBAL ID：201702226824241859   整理番号：17A1346113

時間に制約のある単一アームロボットマルチクラスタツールのための過渡的プロセスのスケジューリング【Powered by NICT】

Scheduling Transient Processes for Time-Constrained Single-Arm Robotic Multi-Cluster Tools

著者 (4件)： Zhu QingHua (School of Computer Science and Technology, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Zhou MengChu (Department of Electrical and Computer Engineering, New Jersey Institute of Technology, Newark, NJ, USA) ,  Qiao Yan (Institute of Systems Engineering, Macau University of Science and Technology, Macau, China) ,  Wu NaiQi (Institute of Systems Engineering, Macau University of Science and Technology, Macau, China)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 30  号： 3  ページ： 261-269  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マルチクラスタツールは,半導体産業における設備を作製する高生産性まだ高価なウエハである。現在の競争的ビジネス傾向はウエハの多品種・少量生産を必要とする。ウエハロットの大きさは小さくなってきている,ウエハロットはより頻繁に変化した。は多くの始動と終了過程をもたらす。は高価な設備の最高利用を確実にするためにこれらの過渡的過程を制御することがますます重要である。多くのウエハ製造プロセスは,ウエハの処理後に厳密な滞留時間制約を持っているので,本研究では,このような制約を受ける単一アームマルチクラスタツールの過渡過程を最適にスケジュールすることを目的とした。最適定常状態スケジュールを見出すことができるそのようなツールに対して,筆者らは最初に時間の開始と終了過程のための最適スケジュールを見つけるために線形計画法を提案した。得られたスケジュールは過渡状態と定常状態の間の遷移をするシームレス。例は,提案した方法は約10%のスループットによる既存のものよりも優れているかを例証するために提示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 過渡現象 ,  品種 ,  滞留時間 ,  *スケジューリング ,  少量生産 ,  半導体工業 ,  スループット ,  ロットサイズ ,  線形計画法
準シソーラス用語： シームレス ,  定常状態 ,  ウエハー製造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  工程管理  (KB03030P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 制約 ,  プロセス ,  スケジューリング