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J-GLOBAL ID：201702226904514037   整理番号：17A0522799

装置搭載向けに小型化し,耐ノイズ性を向上させたマスフローコントローラの開発

A Compact Mass Flow Controller with Improved Noise Resistance, Designed for Mounting on Manufacturing Equipment

著者 (1件)： 舘山哲也 (アズビル アドバンスオートメーションカンパニー)
資料名： azbilテクニカルレビュー  (azbilグループ技術研究報告書)
号： 58  ページ： 45-50  発行年： 2017年04月01日 
JST資料番号： L0532A  ISSN： 1881-9699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ファクトリーオートメーション(FA)市場の中でも製造装置に搭載されているマスフローコントローラには,性能や機能よりもコストやサイズが重視されるものが多い。その市場要求に応えるため,コストやサイズを抑えると同時に,装置搭載用途向けに必要な性能・機能と使いやすさを考慮し,また従来品よりも大幅に耐ノイズ性能を向上させ,ノイズ源の近くに設置されても影響を受けないよう考慮したマスフローコントローラを開発した。(著者抄録)

シソーラス用語： *FA【生産】 ,  *制御装置 ,  流量制御 ,  小型化 ,  耐雑音性 ,  応答特性 ,  半導体プロセス ,  半導体集積回路
準シソーラス用語： *ファクトリーオートメーション ,  *マスフローコントローラ ,  製造装置 ,  応答性 ,  半導体製造装置 ,  半導体製造工程

分類 (2件)： 生産形態  (KB03020E) ,  制御機器一般  (IC02010N)

引用文献 (1件)：

• 百瀬 修,伊勢谷 順一,「デジタルマスフローコントローラCMQシリーズの開発」, Savemation Review「マイクロフローセンサ」特集号, pp.74~80

タイトルに関連する用語 (3件)： ノイズ ,  マスフローコントローラ ,  開発