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J-GLOBAL ID：201702226907611917   整理番号：17A1272740

プラズマ洗浄応用のための新しいプラズマインピーダンス測定法を用いた位相シフト共振電力システム【Powered by NICT】

A phase-shift resonant power system with novel plasma impedance measurement methodology for plasma cleaning applications

著者 (3件)： Ming-Hsien Cheng (Advanced Optoelectronic Technology Center (AOTC) / Green Energy Electronics Research Center (GREERC), Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan) ,  Tsorng-Juu Liang (Advanced Optoelectronic Technology Center (AOTC) / Green Energy Electronics Research Center (GREERC), Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan) ,  Shih-Ming Chen (Advanced Optoelectronic Technology Center (AOTC) / Green Energy Electronics Research Center (GREERC), Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IFEEC 2017 - ECCE Asia  ページ： 698-703  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ洗浄は,フレキシブル基板からの不純物と汚染物を除去するために適用した。プラズマ負荷の等価抵抗は,電力測定のための非常に重要な因子である。しかし,従来のLissajous図形法はプラズマ負荷に直列に接続された外部キャパシタ,DCバイアスを行うと大きな測定偏差を必要とする。さらに,従来のプラズマ洗浄電源は,プラズマ負荷を駆動する高巻数比を採用した低効率変圧器であった。本研究では,外部キャパシタを必要としない正確なプラズマインピーダンス測定法を提案し,並列共振フルブリッジインバータに適用した。ディジタル信号プロセッサは等価インピーダンスを導出し,プラズマパワー供給システムのための定電力制御を達成するためにプラズマ負荷の出力パワーと効率を推定した。実験結果に基づいて,計算した効率は測定した効率に非常に近かった。位相シフト制御下でプロトタイプインバータは,それぞれ1kWの軽負荷で3kWと81.5%の全負荷で88.1%の効率を示すことが分かった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： コンデンサ ,  *位相シフト ,  ディジタル信号プロセッサ ,  不純物 ,  バイアス ,  *インピーダンス ,  汚染物質 ,  *プラズマ ,  変圧器 ,  *電力系統 ,  並列共振 ,  フレキシブル基板
準シソーラス用語： 電力測定 ,  *インピーダンス測定 ,  *プラズマ洗浄 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 有機化合物の各種分析  (CC08034J) ,  資源回収利用  (SC05060V) ,  薬物の分析  (GV01040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ洗浄 ,  応用 ,  プラズマ ,  インピーダンス測定 ,  位相シフト ,  共振 ,  電力システム