文献

J-GLOBAL ID：201702226916231810   整理番号：17A0460671

燃焼炎3段階合成法による合成ダイヤモンド皮膜の表面粗さに及ぼす影響因子について

Influence Factors of Surface Roughness of Synthesized Diamond Films by Three-Step Synthesis Method Using Flame Combustion

著者 (4件)： 高橋護 (秋田大 大学院理工学研究科) ,  瀬川悟志 (秋田大 大学院工学資源学研究科) ,  瀬川悟志 (旭ダイヤモンド工業) ,  神谷修 (秋田大 大学院理工学研究科)
資料名： スマートプロセス学会誌  (Journal of Smart Processing - for Materials, Environment & Energy -)
巻： 6  号： 2  ページ： 87-94  発行年： 2017年03月20日 
JST資料番号： F0907C  ISSN： 2186-702X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者らは,ダイヤモンドの優れた特性を活かすために,化学蒸着による成膜技術の開発を進めており,物性の大きく異る金属表面への被覆を行なってきた。これまでに成膜後の冷却において発生する剥離の問題を3段階合成法で解決したが,一方でそのプロセスでは表面粗さの問題が発生することが分かった。本研究においては,この表面粗さを生み出す因子について調査を行なった。この実験では,これまでのダイヤモンド成膜において種ダイヤモンド粒子の種付けを行なってきたが,従来よりも小さな粒子(0.125μm)を用いた。基板はMoを用いた。ダイヤモンドの合成は開発した3段階燃焼炎法によった。この際,使用するアセチレンと酸素の流量比を変化させた。得たダイヤモンド膜の剥離,表面形態観察,表面粗さ測定を実施した。これらの実験から,条件を変化させても,3段階合成によるダイヤモンド膜の剥離が生じないことを確認し,小さい種付け粒子を用いることで表面粗さを低減できることを見出した。

シソーラス用語： *薄膜 ,  *燃焼合成 ,  種結晶 ,  粒径 ,  表面粗さ ,  多段処理 ,  剥離
準シソーラス用語： *ダイヤモンド膜

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (20件)：

• S. Fanghong, M. Yuping, S. Bin, Z. Zhiming and C. Ming: Diamond and Related Materials, 18-2-3 (2009) 276-282.
• B. Shen, F. Sun, Z. Zhang, H. Shen and S. Guo: Transactions of Nonferrous Metals Society of China, 23-1 (2013) 161-169.
• J. P. Heaney, V. A. Sumant, D. C. Torres, W. R. Carpick and E. F. Pfefferkorn: Diamond and Related Materials, 17-3 (2008) 223-233.
• R. J. Narayan, W. Wei, C. Jin, M. Andara, A. Agarwal, R. A. Gerhardt, C. C. Shih, C. M. Shih, S. J. Lin, Y. Y. Su, R. Ramamurti and R. N. Singh: Diamond and Related Materials, 15-11-12 (2006) 1935-1940.
• L. Yang, B. W. Sheldon and T. J. Webater: Biomaterials, 30-20 (2009) 3458-3465.

タイトルに関連する用語 (7件)： 燃焼炎 ,  段階 ,  合成法 ,  合成ダイヤモンド ,  皮膜 ,  表面粗さ ,  影響因子