高アスペクト比マイクロホールの生成のための両面レーザ処理法

NASROLLAHI Vahid; PENCHEV Pavel; DIMOV Stefan; KORNER Lars; LEACH Richard; KIM Kyunghan

文献

J-GLOBAL ID：201702226925219326 整理番号：17A1909763

高アスペクト比マイクロホールの生成のための両面レーザ処理法

Two-Side Laser Processing Method for Producing High Aspect Ratio Microholes

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資料名：
巻： 5 号： 4 ページ： 041006.1-041006.14 発行年： 2017年12月
JST資料番号： W2397A ISSN： 2166-0468 CODEN： AJMNBT 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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