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J-GLOBAL ID:201702227021068404   整理番号:17A1250746

マイクロ熱ステージを用いたRRAMのための超高速加速保持試験方法【Powered by NICT】

Ultrafast Accelerated Retention Test Methodology for RRAM Using Micro Thermal Stage
著者 (7件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: 863-866  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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マイクロ熱段階(MTS)を用いた抵抗ランダムアクセスメモリ(RRAM)のための超高速加速保持試験法を提案した。チャック加熱を用いた加速保持試験では,試験速度を制限する二つの主要な因子は,達成可能な温度範囲と熱時定数である。これら限界を拡大するために,拡張温度範囲(~800 °C)と短い熱時定数(~10μs)とMTSを構築した。例としてHfOxベースRRAMの高抵抗状態保持破壊を用いて,提案した方法論は,加速された保持試験時間を短縮<10ms,チャック加熱に比べて六桁までのブーストを達成できることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (4件):
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