文献

J-GLOBAL ID：201702227100711095   整理番号：17A1282284

ダイオードレーザ吸収分光法による低気圧誘電体バリア放電プラズマにおけるアルゴンの準定常状態の診断【JST・京大機械翻訳】

Diagnosis of Argon Metastable State in Low Pressure DBD Plasma Using Diode Laser Absorption Spectroscopy

著者 (4件)： Gong Faping (大連理工大学物理与光電工程学院三束材料表面改性教育部重点実験室,遼寧 大連,116024) ,  Gao Lihong (大連理工大学物理与光電工程学院三束材料表面改性教育部重点実験室,遼寧 大連,116024) ,  Zhou Yongli (大連理工大学物理与光電工程学院三束材料表面改性教育部重点実験室,遼寧 大連,116024) ,  Xu Yong (大連理工大学物理与光電工程学院三束材料表面改性教育部重点実験室,遼寧 大連,116024)
資料名： Guangpuxue yu Guangpu Fenxi  (Guangpuxue yu Guangpu Fenxi)
巻： 37  号： 2  ページ： 379-386  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2093A  ISSN： 1000-0593  CODEN： GYGFED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 調整可能なダイオードレーザ吸収分光法を用いて,低気圧アルゴン中の誘電体バリア放電プラズマの診断を行い,放電電圧,圧力,流量,極板間隔,およびN2比の変化により,Ar準安定性1s5および1s3の密度を調べた。Lambert-Beerの法則に基づいて,吸収スペクトルの吸収ピーク面積を計算することによって,Ar準安定性の数密度を計算し,同時に,スペクトル線をVoigtフィッティングによって得て,次に,Arの準安定性を,電子衝突によって得た。同時に,電子は準安定状態において消光し,それにより数密度を減少させることができた。ガス温度は,プラズマの実際のパワー,電子の状態,および粒子間の衝突に関連している。実験結果により、本実験条件範囲内において、Ar準安定数密度とガス温度は放電電圧と流量の増大に伴い、最初に増大し、その後徐々に緩やかになるが、両者の流量の変化幅は放電電圧より小さく、成長は遅いことが分かった。気圧の増加により,Ar準安定数密度とガス温度は最初に増加し,次に減少し,その後,徐々に減少した。実験データにより、気圧はスペクトル線の広がりに対して明らかな影響作用があることが明らかになった。極板間隔を適切に増加させると,Ar準安定数密度は明らかに減少したが,気体温度は上昇し,N2の添加は準安定状態に対して強い消光効果を示し,0.5%N2は数密度を50%減少させたが,N2濃度の増加と共に減少した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 吸収スペクトル ,  *無声放電 ,  電子衝突 ,  *ダイオード ,  消光 ,  *プラズマ ,  準安定状態 ,  流量 ,  *レーザ分光法 ,  数密度 ,  *アルゴン ,  スペクトル線広がり
準シソーラス用語： 気体温度 ,  準安定性 ,  放電電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Absorption spectroscopy ,  DBD plasma ,  Density of Ar metastable state ,  Gas temperature

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (8件)： ダイオード ,  レーザ吸収分光法 ,  低気圧 ,  誘電体バリア放電 ,  プラズマ ,  アルゴン ,  準定常状態 ,  診断