抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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モノリシック三次元(M3D)統合は,スルーシリコンビア(TSV)に基づく3D集積と比較して有意に高いデバイス密度を達成する可能性を持っている。は機能的層間に挿入されることを専用試験層に基づくM3D ICのための試験溶液を提案した。提案した設計(DfT)溶液に関連するコストを評価し,IEEE Std.P1838に基づく潜在的なDfT溶液のそれと比較した。著者らの結果は,提案した解である(ILV)密度,ILV収率と欠陥密度による広範囲層間のP1838ベース溶液よりも費用対効果が良いことを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】