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J-GLOBAL ID：201702227360535553   整理番号：17A1436292

GD-OESによるX線回折法とその組成測定を用いた鋼基板上のTiN及びTiAl被覆の厚さ決定【Powered by NICT】

Thickness determination of TiN and TiAl coatings on steel substrates using X-ray diffraction method and their composition measurements by GD-OES

著者 (4件)： Aliaj Fisnik Rr. (Department of Physics, Faculty of Mathematical and Natural Sciences, University of Prishtina, Mother Theresa Str. 5, KS-10000, Prishtina, Kosovo) ,  Syla Naim (Department of Physics, Faculty of Mathematical and Natural Sciences, University of Prishtina, Mother Theresa Str. 5, KS-10000, Prishtina, Kosovo) ,  Oettel Heinrich (Institute of Materials Science, TU Bergakademie Freiberg, Gustav-Zeuner Str. 5, D-09599, Freiberg, Germany) ,  Dilo Teuta (Department of Physics, Faculty of Natural Sciences, University of Tirana, Boulevard Zogu I, Tirana, Albania)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 49  号： 11  ページ： 1135-1141  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,厚い多結晶ステンレス鋼および炭素鋼基板上にDCマグネトロンスパッタリングにより蒸着した多結晶TiNと非晶質TiAl被覆の厚さの正確な決定のための非破壊X線回折法を提示した。この方法は被覆の堆積による基板反射の強度損失の測定に依存している。X線回折による厚さ測定の不確実性は被覆材料の質量吸収係数と収集した回折パターンの品質に依存する。考慮した皮膜では,X線回折法により決定した厚さを走査電子顕微鏡とボールクレータ法により測定した厚さ値と非常に良い一致を示した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 吸収係数 ,  ステンレス鋼 ,  走査電子顕微鏡 ,  *X線回折 ,  *被覆 ,  *X線回折分析 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *鋼 ,  被覆材 ,  多結晶 ,  皮膜 ,  非晶質
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  *チタンアルミニウム合金 ,  *窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： コーティング ,  GD-OES ,  マグネトロンスパッタリング ,  厚さ ,  TiAl ,  TiN ,  XRD

分類 (5件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  固-固界面  (CB12060M) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： GD-OES ,  X線回折法 ,  組成 ,  鋼 ,  TiN ,  TiAl