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J-GLOBAL ID：201702227598114479   整理番号：17A1651311

膀胱圧力モニタリングのためのMEMSダイヤフラムの機械的解析【Powered by NICT】

Mechanical analysis of MEMS diaphragm for bladder pressure monitoring

著者 (4件)： Yusof Norliana (Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN), Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Bais Badariah (Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN), Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Majlis Burhanuddin Yeop (Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN), Universiti Kebangsaan Malaysia, 43600 Bangi, Selangor, Malaysia) ,  Soin Norhayati (Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering, University of Malaya, 50603 Kuala Lumpur, Malaysia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： RSM  ページ： 22-25  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 植込み型ぼうこう圧センサは非常に低い圧力範囲検出のために非常に敏感である必要がある。,MEMSセンサの感度に大きな影響を与えるであろうとしてダイヤフラム構造の適切な選択が重要である。本研究では,有限要素(FEA)分析は,四種類のダイヤフラム構造に及ぼす機械的特性を調べるために実施した;容量性MEMS圧力センサの固定,スロット,波形とbossed正方形ダイヤフラム。MEMSダイヤフラムはComsol Multiphysicsソフトウェアを用いて設計し,シミュレートした。静的解析は,応力分布,全変位と静電容量一方モード解析を各構造の共振周波数を決定するために実施したを調べるために行った。静的解析から,このスロット付ダイヤフラムは,他の構造と比較して,より高い感度を有していることが観察された。しかし,モード解析から,最高の機械的固有振動数は,固定ダイヤフラムによって達成されることが分かった。本研究から,このスロット付ダイヤフラムは,その高い感度のために移植可能なMEMSぼうこう圧センサを設計するための最も適切な選択であると結論し,センサの望ましい機械的固有振動数の要求を満たすことができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 圧力センサ ,  膀胱 ,  モード解析 ,  機械的性質 ,  固有振動数 ,  *ダイヤフラム ,  ソフトウェア ,  共振周波数 ,  センサ ,  *MEMS ,  応力分布 ,  静電容量
準シソーラス用語： 静的解析 ,  有限要素 ,  MEMSセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 膀胱 ,  モニタリング ,  MEMS ,  ダイヤフラム ,  解析