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J-GLOBAL ID：201702227744337684   整理番号：17A1027529

高周波ナノテクノロジー(招待論文)のための測定技術の概観【Powered by NICT】

An overview of measurement techniques for radio frequency nanotechnology (Invited paper)

著者 (2件)： Wallis T. Mitch (NIST, Applied Physics Division, Boulder, Colorado, USA) ,  Kabos Pavel (NIST, Applied Physics Division, Boulder, Colorado, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： WAMICON  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無線周波数(RF)ナノテクノロジーのための測定技術の歴史的発展と現在の技術水準の概観を示した。RFナノテクノロジーの分野は,ナノ科学におけるナノ材料と他の進歩によって実現するRFおよびマイクロ波デバイスの研究と工学に焦点を当てた。測定は,この新生分野で重要な役割を果たし,RFナノテクノロジーの実用的な工学と最終的な商業的応用に新しい現象と新素材の発見からの遷移を可能にした。一つの重要な課題は,ナノスケール系と市販試験装置間の固有インピーダンス不整合を克服することである。初期の研究では,ナノ電子デバイスに既存の導波とオンウエハマイクロ波測定技術の拡張に焦点を当てた。大部分のこれらの初期技術の目的は,複合体の測定,少数の個々のナノスケール構築ブロックを組み込んだ受動素子の二ポート散乱パラメータであった。より最近では,近接場走査型マイクロ波顕微鏡法のような局所的測定法は,ナノ材料の広帯域特性化と欠陥,接触,および界面のintradevice測定のために開発した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  *HF【周波数】 ,  マイクロ波 ,  マイクロ波測定 ,  ナノ材料 ,  界面 ,  試験装置 ,  *ナノテクノロジー ,  顕微鏡観察 ,  近接場 ,  広帯域 ,  走査
準シソーラス用語： Sパラメータ ,  ナノスケール ,  無線周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 科学技術一般  (AA01000H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高周波 ,  ナノテクノロジー ,  論文