曲げストレス後のAZO/Ag/AZO薄膜のロバスト性と電気的信頼性【Powered by NICT】

Torrisi G.; Torrisi G.; Crupi I.; Crupi I.; Mirabella S.; Mirabella S.; Terrasi A.; Terrasi A.

文献

J-GLOBAL ID：201702228122432998 整理番号：17A0698644

曲げストレス後のAZO/Ag/AZO薄膜のロバスト性と電気的信頼性【Powered by NICT】

Robustness and electrical reliability of AZO/Ag/AZO thin film after bending stress

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資料名：
巻： 165 ページ： 88-93 発行年： 2017年
JST資料番号： D0513C ISSN： 0927-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

薄い柔軟性と可撓性デバイスへの関心の高まりは,機械的にロバストで電気的に信頼性のある透明電極に対する強い要求をもたらした。インジウムドープ酸化スズ(ITO)及びアルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)は最も利用される透明導電性酸化物(TCO)であるとフレキシブル基板上のそれらの信頼性は,大きな注目を集めている。しかし,高い柔軟性は,通常,非常に低い厚さ,不幸なことに,電気伝導率を損なうで達成された。超薄いAZO/Ag/AZO多層膜(45nm/10nm/45nm)の電気的および光学的性質に及ぼす機械的曲げサイクルと,比較のために,その厚さは,柔軟なポリエチレンナフタレート(PEN)プラスチック基板上に,両方の場合において,100nmと700nmで堆積した室温であったAZO及びITO単層の効果を報告した。曲げの数サイクル後の膜の電気的安定性は,調製したままの試料に対して電気抵抗の相対変化を監視することによって評価した。曲げによって誘起された構造損傷を走査型電子顕微鏡(SEM)により検出した。は優れた電気的安定性と100サイクル後でもAZO/Ag/AZO試料における高い柔軟性を観察したが,単一AZO及びITO膜の抵抗率は急速に増加する。実験結果と数値シミュレーションは,機械的歪下で改善されたロバスト性を提供する延性Ag中間層が果たす重要な役割の明らかな証拠を提供した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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太陽電池

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