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J-GLOBAL ID：201702228197013881   整理番号：17A1185988

定量的EDXS:4検出器システムに及ぼす幾何学的形状の影響【Powered by NICT】

Quantitative EDXS: Influence of geometry on a four detector system

著者 (7件)： Kraxner Johanna (Graz Centre for Electron Microscopy, Steyrergasse 17, 8010 Graz, Austria) ,  Schaefer Margit (Institute for Geometry, Graz University of Technology, Kopernikusgasse 24, 8010 Graz, Austria) ,  Roschel Otto (Institute for Geometry, Graz University of Technology, Kopernikusgasse 24, 8010 Graz, Austria) ,  Kothleitner Gerald (Institute of Electron Microscopy and Nanoanalysis, Graz University of Technology, Steyrergasse 17, 8010 Graz, Austria) ,  Haberfehlner Georg (Graz Centre for Electron Microscopy, Steyrergasse 17, 8010 Graz, Austria) ,  Paller Manuel (Graz Centre for Electron Microscopy, Steyrergasse 17, 8010 Graz, Austria) ,  Grogger Werner (Institute of Electron Microscopy and Nanoanalysis, Graz University of Technology, Steyrergasse 17, 8010 Graz, Austria)
資料名： Ultramicroscopy  (Ultramicroscopy)
巻： 172  ページ： 30-39  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0972A  ISSN： 0304-3991  CODEN： ULTRD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 定量的エネルギー分散X線分光分析(EDXS)分析に及ぼす幾何学的形状の影響を低バックグラウンドの二軸傾斜試料ホルダーと組み合わせたChemiSTEMシステム(Super-X)を決定した。初めてシミュレーションと実験測定の組み合わせは,Super-Xシステムの個々の検出器の位置を決定するために使用される。これらの位置は検出器の立体角を計算し,検出器のシャドーイングの量と定量的EDXS分析に及ぼすその影響,ζ-因子法を用いた吸収補正を推定することができる。黄銅部分によるシャドウイングとホルダのベリリウム試料キャリアの両方は,低から中程度の原子番号元素の定量に大きな影響を及ぼす。多重検出器システムについて述べ効果の実用的結果の点から議論し,Fayalit試料の定量的評価を実証した。系統誤差を最小化するための補正と提案を多重検出器システムのための定量的方法を改善するために検討した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多重化 ,  二軸 ,  黄銅 ,  *検出器 ,  ベリリウム ,  *形態 ,  系統誤差 ,  原子番号 ,  エネルギー分散X線分光分析
準シソーラス用語： 定量的評価 ,  シャドーイング ,  立体角 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： エネルギー分散X線分光分析(EDXS) ,  スーパーX ,  検出器位置 ,  シャドウイング ,  吸収補正 ,  ζ-因子法

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (3件)： 定量 ,  検出器 ,  幾何学的形状