College of Mechanical Engineering and Applied Electronics, Technology, Beijing University of Technology, China について
Qin Fei について
College of Mechanical Engineering and Applied Electronics, Technology, Beijing University of Technology, China について
Sun Jinglong について
College of Mechanical Engineering and Applied Electronics, Technology, Beijing University of Technology, China について
Chen Pei について
College of Mechanical Engineering and Applied Electronics, Technology, Beijing University of Technology, China について
An Tong について
College of Mechanical Engineering and Applied Electronics, Technology, Beijing University of Technology, China について
IEEE Conference Proceedings について
ケイ素 について
応力分布 について
相互接続 について
研削砥石 について
研削 について
予測モデル について
回転数 について
研磨 について
送り速度 について
有限要素モデリング について
固体デバイス製造技術一般 について
研削・研摩材 について
TSV について
ウエハ について
背面 について
研削 について
プロセス について
有限要素モデリング について