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J-GLOBAL ID：201702228533017936   整理番号：17A1523551

磁気濾過陰極アーク法によるCrCN薄膜の構造と組成の研究【JST・京大機械翻訳】

Structure and Composition Investigation of CrCN Films Prepared by Fil-tered Cathodic Vacuum Arc Technique

著者 (8件)： Wang Haoqi (西南大学 材料与能源学部,重慶,400715) ,  Tan Lizhao (西南大学 材料与能源学部,重慶,400715) ,  Guan Jiajian (西南大学 材料与能源学部,重慶,400715) ,  Li Bin (西南大学 材料与能源学部,重慶,400715) ,  Lin Hua (西南大学 材料与能源学部,重慶,400715) ,  Li Yuan (西南大学 材料与能源学部,重慶,400715) ,  Liang Hong (北京師范大学 射線束技術与材料改性教育部重点実験室,北京,100875) ,  Liao Bin (北京師范大学 射線束技術与材料改性教育部重点実験室,北京,100875)
資料名： Biaomian Jishu  (Biaomian Jishu)
巻： 46  号： 1  ページ： 9-14  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2656A  ISSN： 1001-3660  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 目的:磁気濾過陰極アーク蒸着技術により、優れた品質のCrCNコーティングを調製する。膜の構造と組成に及ぼすアセチレン/窒素混合ガス流量と基板バイアスの影響を研究した。【方法】CrCN複合膜を,20~100mL/分のアセチレン/窒素混合ガス流量の下で,磁気濾過真空陰極アーク蒸着によって調製した。X線回折,電界放出型電子顕微鏡,走査型プローブ顕微鏡,X線光電子分光法,透過型電子顕微鏡により,薄膜の相構造と形態を解析した。結果:CrCN複合膜の結晶粒度は,ガス流量の増加と共に徐々に減少し,TEMの結果,CrCN複合膜中のナノ結晶の数は,数ナノメートルから数十ナノメートルの範囲にあることが分かった。基板のバイアス電圧が-200Vから-150Vに増加するにつれて,CrCN薄膜の表面粗さは0.345nmから4.38nmに増加し,XPS,TEMおよびXRDデータにより明らかになった。薄膜中のCr元素は主に元素Cr、CrN及びCr3C2の形式で存在する。結論:磁気濾過真空陰極アーク蒸着技術を用いて調製したCrCN複合薄膜はナノ結晶-非晶質モザイク構造を有する。この方法によって蒸着したCrCN薄膜の表面粗さは基底負バイアスに関連している。混合ガスの流量の変化は,膜組成の変化にほとんど影響しなかった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *薄膜 ,  X線光電子スペクトル ,  *クロム ,  X線光電子分光法 ,  バイアス ,  透過型電子顕微鏡 ,  *磁気 ,  混合気体 ,  ナノ結晶 ,  複合膜 ,  *アーク放電 ,  流量 ,  形態 ,  X線回折
準シソーラス用語： ガス流量 ,  アークイオンプレーティング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： CrCN ,  structural analysis ,  magnetic filtered cathodic arc deposition ,  FCVAD ,  XPS

分類 (2件)： 塩  (CD01050V) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (7件)： 磁気 ,  濾過 ,  陰極 ,  アーク ,  薄膜 ,  組成 ,  研究