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J-GLOBAL ID：201702228776876844   整理番号：17A0996409

フィルタ陰極真空アーク蒸着によるNi/DLCナノ複合材料膜の組成,微細構造及び機械的性質【Powered by NICT】

The composition, microstructure and mechanical properties of Ni/DLC nanocomposite films by filtered cathodic vacuum arc deposition

著者 (6件)： Zhou Han (Beijing Normal University, Beijing Radiation Center, Beijing 100875, China) ,  Hou Qingyan (Beijing Normal University, Beijing Radiation Center, Beijing 100875, China) ,  Xiao Tianqing (Beijing Normal University, Beijing Radiation Center, Beijing 100875, China) ,  Wang Yudong (Beijing Normal University, Beijing Radiation Center, Beijing 100875, China) ,  Liao Bin (Beijing Normal University, Beijing Radiation Center, Beijing 100875, China) ,  Zhang Xu (Beijing Normal University, Beijing Radiation Center, Beijing 100875, China)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 75  ページ： 96-104  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ni/DLCナノコンポジット膜が,いろいろなCH_4とC_2H_2流量下でのフィルタされた陰極真空アーク蒸着(FCVAD)によって未加熱シリコン(100)上に堆積した。Ni/DLC膜の組成,微細構造及び機械的性質を走査電子顕微鏡(SEM),Raman分光法,X線光電子分光法(XPS),X線回折(XRD)およびナノインデンテーションによって調べた。Ni/DLC膜は,一般的に,約11nmのニッケルナノ粒子,0.35 2 8nmの厚さの非晶質炭素マトリックス中に埋め込まれたから構成されている。膜構造と機械的性質を前駆体ガスタイプと流量の影響を強く受けた。ナノ細孔径ニッケル粒径に等しいと,多孔質構造は蒸着したままの膜のエッチングプロセス後に見られ,ナノ多孔性DLC膜の調製のための可能な方法を提供する。13.2GPaと21.64GPaの最大硬度は30sccmとC_2H_2流速40sccmのCH_4流量下でNi/DLC膜で達成され,それぞれ,非晶質炭素相の最大厚さを得た。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 流量 ,  X線光電子分光法 ,  *微細構造 ,  硬度 ,  DLC膜 ,  *フィルタ ,  粒径 ,  *機械的性質 ,  膜構造 ,  走査電子顕微鏡 ,  ナノインデンテーション ,  X線光電子スペクトル ,  Raman分光法 ,  *ナノ複合材料
準シソーラス用語： アモルファスカーボン ,  *アークイオンプレーティング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ナノ複合材料膜 ,  フィルタアーク蒸着 ,  CH_4流量 ,  C_2H_2流量

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (8件)： 陰極 ,  真空アーク蒸着 ,  Ni ,  DLC ,  複合材料膜 ,  組成 ,  微細構造 ,  機械的性質