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J-GLOBAL ID：201702228941347683   整理番号：17A0974898

開口マイクロ流体チャネルネットワークにおける蒸発型リソグラフィー

Evaporative Lithography in Open Microfluidic Channel Networks

著者 (5件)： LONE Saifullah (King Abdullah Univ. Sci. & Technol. (KAUST), Thuwal, SAU) ,  ZHANG Jia Ming (King Abdullah Univ. Sci. & Technol. (KAUST), Thuwal, SAU) ,  VAKARELSKI Ivan U. (King Abdullah Univ. Sci. & Technol. (KAUST), Thuwal, SAU) ,  LI Er Qiang (King Abdullah Univ. Sci. & Technol. (KAUST), Thuwal, SAU) ,  THORODDSEN Sigurdur T. (King Abdullah Univ. Sci. & Technol. (KAUST), Thuwal, SAU)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 33  号： 11  ページ： 2861-2871  発行年： 2017年03月21日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のマイクログルーブネットワークに均一な金属パターンを形成するための蒸発駆動パターン形成法について報告した。毛管濡れ性は,リザーバからナノ粒子またはマクロ粒子懸濁液の自発的拡張を駆動して,開口マイクロチャンネルの全長を充満する。引き続いて,チャンネル内の液体の自由表面からの蒸発が,リザーバからの懸濁粒子の対流を誘導して,粒子が密に充填された金属堆積物を形成する。これは,パターン形成されたポリジメチルシロキサン(PDMS)基板に規則的金属ネットワークを形成するための迅速かつ経済的な方法である。この方法は,リザーバからの懸濁液の途切れない供給に依存する。様々な粒子ベースの懸濁液を用いてこの方法を検証した。

シソーラス用語： *マイクロチャネル ,  *ネットワーク ,  *蒸発 ,  *リソグラフィー ,  ポリジメチルシロキサン ,  パターン形成 ,  濡れ ,  懸濁液
準シソーラス用語： *マイクロ流体チャネル ,  PDMS【重合体】 ,  パターンニング ,  濡れ性

分類 (2件)： 試料技術  (BA02070O) ,  コロイド化学一般  (CB11010C)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロ流体チャネル ,  蒸発 ,  リソグラフィー